世界最速の超高速応答

1秒以内まで短縮

　北陸電気工業は、MEMS技術を活用した小型・高機能センサーの製品ラインアップを充実させている。5G対応をはじめ、IoT関連から自動車、医療／ヘルスケア、家電、産業機器などの市場に向けたセンシングソリューションの提案活動を展開している。

　同社のセンサーの製品戦略は、高密度実装技術によるモジュール事業との連携強化、産学との共同開発の取り組み強化など、センサー素子としての供給にとどまらず、ソフトウエアを組み込んだモジュール化、複数の素子を組み込んだ複合センサーへのソリューションの提案活動を強化している。

　MEMSセンサーとして、圧力センサーをはじめ、容量式湿度センサー、フォースセンサー、非接触温度センサー、気圧センサー、水素センサーなど多彩な製品を開発している。

　気圧センサーは、2.5ミリ角×0.7ミリメートルサイズまで小型低背化。定格圧力は50～110kPa。気圧計をはじめ、気象モニター、カーナビ、HDD、活動量計などに適している。

　フォースセンサーでは、2.2ミリ角×1.8ミリメートルサイズの超小型タイプを商品化。耐久性に優れ、微小荷重を高感度、高精度で検知することが可能なため、スタイラスペンなどの入力デバイス用として利用され、さらに用途拡大を目指している。

　非接触温度センサーは、パッケージをシリコン接合による封止で真空パッケージ化したことで、測定分可能プラスマイナス0.3度という高精度化を実現した。サイズは2.2ミリ角×0.9ミリメートル。出力電圧は1mV。B定数は3370K。消費電流は2μA。

　容量式湿度センサーは、世界最速の超高速応答を実現した高速応答容量式湿度センサーを開発した。応答時間は既存品の10秒程度から1秒以内にまで短縮。さらに透水性の向上により、信頼性の改善も実現している。湿度を正確に測定する必要のあったエアコンや冷蔵庫だけでなく、高速応答が必要とされる車載や医療機器分野に提案する。

　同社の容量式湿度センサーは、新開発の感湿膜を使用したセンサー素子に専用ICを組み合わせ、高精度、高信頼性を実現している。