2022.05.06 レーザーテックがEUV対応マスク検査装置最先端プロセスで微小異物検出

MATRICS X9ULTRAシリーズ

　レーザーテックはこのほど、防じんフィルムであるペリクルの非装着EUVマスクに特化したマスク検査装置「MATRICS X9ULTRAシリーズ」を発表した。

　同社はこれまでフォトマスク検査装置「MATRICS X810EXシリーズ」と、「同X8ULTRAシリーズ」を展開。優れた検査性能、低ランニングコストと高い信頼性により、世界のウエハーファブやマスクショップで活用され、高い評価を得ている。

　今回発表した新...　　(つづく)