2022.07.04 日立ハイテク、ナノ物性の計測感度向上走査型プローブ顕微鏡の上位機種

高感度プローブ顕微鏡システム「AFM100 Pro」

 日立ハイテクは、高感度プローブ顕微鏡システム「AFM100 Pro」を発売した。走査型プローブ顕微鏡(AFM〈原子間力顕微鏡〉/SPM〈走査型プローブ顕微鏡〉)のハイエンドモデル。

 高感度光ヘッドを新開発。カンチレバー変位検出のノイズレベル低減と検出感度の最適化が可能になった。

 光によるカンチレバーの加振を行う光熱励振機能(IR-Drive)を搭載。微小なサブナノレベルのカンチレバー振動振幅を安定して制...  (つづく)