2022.07.12 長州産業誘導加熱方式蒸着源を発売

　【山口】長州産業（山口県山陽小野田市）はこのほど、世界初となる高性能制御ユニットおよび電源一体型クヌーセンセル「IHES」（誘導加熱方式蒸着源）の販売を開始した。

　電磁誘導加熱を利用した成膜技術などを手掛けるアイヒーティング（福岡県糸島市）と共同で開発。デバイス作製時間の短縮や材料消費の削減に貢献する。

　材料の投入量や経時的変化、成膜速度にかかわらず分布形状を安定させる特徴を持つ長州産業の「EV-ALL...　　(つづく)