NCTのクリーンルーム。複数枚の4インチエピウエハーを製造する装置など量産に向けた態勢づくりを急ぐ
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次世代パワー半導体 酸化ガリウム利用の開発競争 耐圧性や低損失性 SiCやGaN超える
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