2022.08.05 半導体ウエハーの転位・ひずみ分布可視化 パワー半導体後押し、名大など
開発した転位カウントシステムとヒートマップ表示機能を実装した、SiC結晶転位高感度可視化装置「XS－1 Sirius」
開発した転位カウントシステムとヒートマップ表示機能を実装した、SiC結晶転位高感度可視化装置「XS－1 Sirius」
