2022.09.02 日立パワーソリューションズが超音波測定で多層化に対応、高画質化・大型ウエハー一括検査

超音波映像装置「FineSAT7」

　日立パワーソリューションズは、超音波で電子デバイス内部の欠陥を検出して画像化する装置の新型を開発した。検出精度と画質が向上し、300ミリメートルウエハーにも対応する。

　同様に内部を観察するX線を使った測定に対し、超音波は張り合わせ構造の界面の剝離や、ボイド（空隙）を検出するのに優れている。

　超音波を用いた測定では、水などの液体を媒体にして対象物に超音波を伝搬させ、反射して戻ってきた反射波の強弱から欠陥を...　　(つづく)