2022.09.09 キヤノンがソリューションプラットフォーム提供、半導体露光装置の生産性向上
KrF半導体露光装置「FPA-6300ES6a」
キヤノンは、半導体露光装置向けソリューションプラットフォーム「Lithography Plus（リソグラフィ プラス）」の提供を9月から開始した。同社が培ってきた50年以上の半導体露光装置のサポートノウハウにより、同社露光装置顧客の最適プロセスを実現する。
同社は「FPA-6300ES6a」など高い処理能力を誇るKrF半導体露光装置や、多様なデバイスに対応するi線半導体露光装置をそろえ、これらの露光装置を導入したユーザーのサ... (つづく)
