2022.10.06 【新技術】世界最速、グラフェン光検出器のゼロバイアス動作220ギガヘルツの実現と光 -電気変換プロセスの解明NTTがNIMSと共同で
グラフェンを絶縁体である六方晶窒化ホウ素(hBN)で挟んだものに、金属のソース、ドレイン電極を接続した構造。表面をアルミナ(Al2O3)絶縁膜で覆った後、酸化亜鉛(ZnO)をゲートとして成膜してある。ZnO薄膜をゲートとして用いることで、一般的な金属ゲートで生じる電流遅延を回避している。グラフェンに光を照射することで生じる光電流は、ドレイン電極に沿って伝播(でんぱ)する。