2022.10.13 ヨコオ　従来品比抵抗値20％低減　半導体検査用「低抵抗プローブ」開発

ヨコオの「低抵抗プローブ」

　ヨコオは、半導体検査用プローブの新製品として、従来品比で抵抗値を約20％低減する「低抵抗プローブ」を開発した。プローブの構造そのものからプランジャーの先端形状やばね構造までを見直すことで、大幅な低抵抗を実現した。半導体検査時の電圧低下を低減する。

　半導体検査で使用される一般的なプローブは、金属製のチューブとばね、およびプランジャーと呼ばれる金属部品がチューブの両端にそれぞれ付いており、合計四つの部品で構成されている。両端のプ...　　(つづく)