2020.01.20 MEMS産業の動向

 MEMSは日本語では「微小電気機械システム」とされる。MEMSは、半導体製造技術やレーザー加工技術、各種の微細加工技術を応用し、微小な電子回路と機械要素を一つの基板上に組み込んだセンサー、アクチュエータなどのデバイス/システム。モーションセンサー(スマートフォンなどモバイル機器)、圧力センサー、加速度センサー(自動車用部品など)、光スイッチ用ミラーデバイス(光通信分野)、カンチレバー(電子顕微鏡)、RF-MEMSスイッチ(無線通信機器)など広がりを...  (つづく)