MEMSは日本語では「微小電気機械システム」とされる。MEMSは、半導体製造技術やレーザー加工技術、各種の微細加工技術を応用し、微小な電子回路と機械要素を一つの基板上に組み込んだセンサー、アクチュエータなどのデバイス/システム。モーションセンサー（スマートフォンなどモバイル機器）、圧力センサー、加速度センサー（自動車用部品など）、光スイッチ用ミラーデバイス（光通信分野）、カンチレバー（電子顕微鏡）、RF-MEMSスイッチ（無線通信機器）など広がりを...　　(つづく)