2022.12.09 SCREENセミコンが枚葉式洗浄装置を販売 ウエハー処理、毎時1200枚
「SU－3400」
SCREENセミコンダクターソリューションズは、毎時1200枚のウエハー処理能力を持つ枚葉式洗浄装置「SU-3400」を販売開始した。枚葉式はウエハーを1枚ずつ洗浄する仕組み。
同装置は従来機「SU-3300」と同じ24台のチャンバーを搭載しながら処理能力は従来機より30％向上、設置スペースは30％削減した。ウエハー搬送機構を刷新することで装置の面積当たりの生産性を大幅に向上させている。
半導体製造装置... (つづく)
