2022.12.19 レーザーテックウエハーエッジの欠陥を高精度分類半導体製造プロセス 品質改善
CIELシリーズ
レーザーテックは、高感度ウエハーエッジ検査装置「CIEL」シリーズを発表した。最新の半導体製造プロセスにおける課題を踏まえ、ウエハーの欠陥を高精度に捉える検査を実現し、製造プロセスの品質改善、歩留まり向上に貢献する。
新製品は、ウエハーエッジ、ベベル部の欠陥を高精度に分類する装置。NANDメモリーの積層膜数の増加や、ロジックデバイスのトランジスタ構造の複雑化に伴い、ウエハーエッジを発生源とする欠陥種が多様化しており、これらの... (つづく)
