2022.12.19 米プラズマ・サーモが日本市場で販売を強化 化合物半導体向け製造装置
セミコンジャパンに合わせたプロモーションで来日したガスカ氏（右）と柴田氏
半導体製造装置の米プラズマ・サーモは日本市場でのマーケティングを強化している。SiC（炭化ケイ素）、GaN（窒化ガリウム）など主に化合物半導体をターゲットにした製品を展開。急成長が見込まれるパワーデバイス市場で浸透を図る。
エッチングや成膜、洗浄、ダイシングなど半導体製造の各プロセスに用いるウエハーサイズ200ミリ（8インチ）までの装置を幅広くそろえる。
売り上げ構成は量産向けが約85％、研究・開発向け... (つづく)
