2023.01.11 【電子部品総合特集】提案型商品 「アウトガス分析システム〝Twin－QCM〟」
日本電波工業は、半導体製造装置のカメラレンズに堆積するガスのモニターや半導体装置において、ガス処理をする際の処理量を均一化するための条件出しに、リアルタイムでモニターが可能なセンシングシステムを開発した。
宇宙分野向けに開発した「アウトガス分析システム〝Twin－QCM〟」の新たな展開として、一般産業分野での利用が拡大中だ。
世界のものづくり品質向上に貢献する同社の新製品として、新用途の模索に取り組む。
