2023.02.06 アルバックがスパッタリング向けガス分析計　半導体のプロセス管理

アルバックのガス分析計（Qulee CGMシリーズ）

　アルバックは、薄膜を形成するスパッタリング装置の歩留まり改善、品質向上のためのプロセス管理にインラインで使用できるガス分析計（プロセスガスモニター）を発売した。

　「Qulee CGM2-101／102」は、スパッタリング装置に装着して、半導体製造プロセス中の装置内の不純物や雰囲気を連続測定する。

　例えば残留水分の確認。成膜室（チャンバー）の壁面などに水分がどの程度付着しているかを評価する。

...　　(つづく)