2023.04.21 米アプライドがEUVパターニング技術の新製品　1回のステップで高密度化

新しいパターニング装置を発表する中尾社長

　米アプライドマテリアルズは20日、先に披露したEUV（極端紫外線）技術を使ったパターニング装置新製品のメディア説明会を東京都内で開催した。

　新製品は、高密度配線の実現のためにEUVパターンを2枚作成する「ダブルパターニング」に代わる新しいパターン形成技術「パターンシェイピング」を実装した「Centura Sculpta」。

　同技術では、EUVダブルパターニングを用いずに配線とビア（穴）の高密度化が可能に...　　(つづく)