2020.02.07 キヤノン　小型基板向けi線ステッパー、デバイス製造工程対応

小型基板に対応したi線ステッパー「FPA-3030iWa」

　キヤノンは、今後も需要の伸びが期待される車載向けなどのパワーデバイス、次世代高速通信規格5G関連の通信デバイス、MEMSやセンサーなどのIoT関連デバイスで用いられる200ミリメートル以下の小型基板に対応したi線ステッパー「FPA-3030iWa」を2月下旬に発売する。

　新製品は、レンズの刷新と多様なウエハーに対応した搬送システムを組み合わせることにより、シリコンウエハーだけでなく、化合物半導体を材料としたウエハーにも対応し...　　(つづく)