2023.07.24 ディスコウエハーの加工・搬送品質向上へ 熊本に「中工程リサーチセンター」
中工程リサーチセンター
ディスコは、九州支店（熊本県益城町）の隣接地に「中工程リサーチセンター」を開所した。
同センターは、2021年12月にプレオープン。コロナ禍の中、顧客の意見を聞きながらシステムの完成度向上を図ってきた。
ウエハー搬送システム「RoofWay」やクラスターシステム「MUSUBI」を常設。生産システムの自動化を通じたオペレーターの負担を軽減し、ウエハーの加工・搬送品質向上を可能にするための研究を行う。 (つづく)
