2023.08.30 キヤノンi線露光装置で多様な製品群パワー系、後工程で市場優位
先端パッケージング向けi線露光装置「FPA-5520iV」
キヤノンは、デバイスからパッケージング基板の製造まで半導体プロセスを幅広く網羅して製品展開する。そのうち、i線露光装置は前工程から先端後工程まで配線の微細化と基板の多様化に対応した製品群をそろえる。
キヤノンが手掛ける露光装置はKrF、ナノインプリントリソグラフィーなど複数ある。中でもi線露光装置は市場優位性が高い。
「FPA-5550iZ2」はスループットと高い解像力が特長の高生産性モデル。ウエハーサ... (つづく)
