2023.09.07 OKIと信越化学が縦型GaNデバイス技術発表　両社連携で課題をクリア　社会実装へ大きな一歩

新技術の概要（OKI提供）

　OKIと信越化学工業は5日、縦型GaN（窒化ガリウム）パワーデバイスの実現と普及に貢献する新技術を発表した（既報）。高デバイス特性を維持した状態でGaN機能層だけ剝離できるOKIの技術や、大口径で高品質な厚膜GaNエピタキシャル成長が可能な信越化学の技術。両社の連携で、従来ハードルとされた課題を解決し、社会実装への道が大きく開けた。

　信越化学のQST基板は、GaNと熱膨張係数が同等であるため、エピタキシャル層の反りやクラック...　　(つづく)