2023.09.15 【セミコン台湾 日系企業の取り組み】〈2〉シンフォニアテクノロジー

開発品もパネル展示し注目を集めた

各種クリーン搬送システム紹介

 シンフォニアテクノロジーは、ロードポートやEFEM(大気搬送)、ウエハーの移載を行うソーターなど、各種クリーン搬送システムを展示した。

 ロードポートは半導体製造装置のフロント部に設置され、ウエハー格納用ポッド(FOUP、SMIFなど)内のウエハーを出し入れする装置。前工程向けには300/200ミ...  (つづく)