2023.09.19 【セミコン台湾 日系企業の取り組み】〈3〉レーザーテック
EUV向け検査装置をメインで紹介
EUV向け検査装置をメイン展示
レーザーテックは最先端の半導体製造で導入が進むEUVリソグラフィーに照準を定め、EUV向け検査装置をメインで紹介。開発が進む先進パッケージ技術を支える測定装置なども提案し、最先端半導体の技術進展を後押しする。
ブースでは、世界で初めてEUV光を用いたアクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装... (つづく)
EUV向け検査装置をメインで紹介
レーザーテックは最先端の半導体製造で導入が進むEUVリソグラフィーに照準を定め、EUV向け検査装置をメインで紹介。開発が進む先進パッケージ技術を支える測定装置なども提案し、最先端半導体の技術進展を後押しする。
ブースでは、世界で初めてEUV光を用いたアクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装... (つづく)
日頃より電波新聞をご購読いただき誠にありがとうございます。
先般ご案内させていただいていた通り、電波新聞は9月30日をもって紙による日刊紙の発行を終了し、10月からは「週刊電波新聞」を発行するとともに、日々のニュースは「電波新聞デジタル」で発信してまいります。
これに伴いまして、日刊電波新聞につきましては、新規のご購読受付を8月29日をもちまして終了させていただきます。なお、ばら売りのバックナンバーにつきましてはこれまで通りご提供をさせていただきます。 詳細はこちらをご覧ください。
【電波新聞リニューアル!先行申込キャンペーンについて】
2025年9月末までに、10月以降の購読のお申し込みを頂いたお客様に限り、『電波新聞デジタル』及び『週刊電波新聞』が読めるスタンダードプランが最大3か月無料になるキャンペーンを実施しております。
電波新聞リニューアル!先行申込キャンペーンの詳細はこちら
https://dempa-digital.com/renewal/