2023.09.21 【セミコン台湾　日系企業の取り組み】〈5〉カンケンテクノ

半導体製造工程で不可欠な除害装置を提案

半導体製造を支える各種ガス除害装置を展示

　カンケンテクノは、半導体製造工程で使用する各種ガスの除害装置を中心に展示した。排ガス処理技術を通じて半導体製造とサステナブル社会の実現に貢献する。

　半導体製造工程では多種多様なガスを使用する。中には人体に有害なガスも多く、同社の除害装置は半導体製造に欠かせない。同社の除害装置の特徴は...　　(つづく)