2023.09.27 【セミコン台湾 日系企業の取り組み】〈7〉サムコ
化合物半導体向け製品をパネルで紹介
化合物半導体特化の製造装置提案
サムコは、SiCやGaNなどの化合物半導体に特化した製造装置を提供している。今回はエッチング工程向けのクラスターツールシステム「クラスターH」のほか、プラズマ処理装置「Aqua Plasma(アクアプラズマ)」などを提案。
クラスターHは、真空搬送プラットフォームを中心に最大三つのプロセスモジ... (つづく)
化合物半導体向け製品をパネルで紹介
サムコは、SiCやGaNなどの化合物半導体に特化した製造装置を提供している。今回はエッチング工程向けのクラスターツールシステム「クラスターH」のほか、プラズマ処理装置「Aqua Plasma(アクアプラズマ)」などを提案。
クラスターHは、真空搬送プラットフォームを中心に最大三つのプロセスモジ... (つづく)
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