2023.11.02 【電源用部品／次世代パワー半導体技術特集】東京農工大学と大陽日酸、大陽日酸CSEが高純度β型酸化ガリウム結晶の高速成長を有機金属気相成長法で実現

【図1】（a）減圧ホットウォールMOVPE成長装置FR2000－OX外観（東京農工大学・熊谷研究室）、（b）成長炉の断面概略図。キャリアガスには高純度アルゴン（Ar）を用いた

β-Ga₂O₃パワーデバイス量産技術実用化に期待

　東京農工大学大学院工学研究院応用化学部門の熊谷義直教授、後藤健助教ら、および同大学未来価値創造研究教育特区の佐々木捷悟特任助教らは、大陽日酸イノベーションユニットCSE事業部の吉永純也氏、朴冠錫氏、池永和正博士および大陽日酸CSEフェローの伴雄三郎博士らと共同で、電力制御・変...　　(つづく)