2023.11.22 リオン、半導体製造の清浄度管理　ハンディー型気中微粒子計を刷新

クリーンルーム内に持ち運んで清浄度管理できるハンディー型気中微粒子計測器

　リオンは、半導体や電子部品製造のクリーンルーム内で空気中に浮遊する微粒子数を計数する気中微粒子計測器（パーティクルカウンター）のハンディータイプをリニューアルした。より高い清浄度管理へのニーズに応える。

　気中微粒子計測器はレーザー光を照射して粒子が発する散乱光を受光素子で受けて電気信号に変換。信号の大きさから粒径を、散乱光を受光した回数から粒子の数を導く。

　ハンドヘルド型は据え置き型に対して、バッテリー...　　(つづく)