2023.12.18 堀場エステックがマスフローコントローラー新機種リリース 次世代圧力式のハイエンドモデル
次世代圧力式マスフローコントローラー「CRITERION D700T」
堀場エステックは、次世代圧力式マスフローコントローラー「CRITERIONシリーズ」の新機種「D700T」「D700μF」を13日に発売した。
D700Tは、供給するガスの切り替え時の立ち上がりから立ち下がりまでの全制御流量域で0.1秒以下の業界最速レベルの高速応答を実現。D700μFは、チャンバーへのガス供給時の最小0.0025SCCMの超小流量制御を可能にした。
先端半導体デバイスにおける微細化、3... (つづく)
