2023.12.18 三井化学、アイメックと提携 EUV露光用CNT事業化へ

トーマス・ピリシュツクimecシニアバイスプレジント(左)と三井化学の平原彰男専務執行役員

 三井化学とベルギーの研究機関imec(アイメック)は14日、極端紫外線(EUV)露光用のカーボンナノチューブ(CNT)技術の事業化に向け、戦略的パートナーシップ契約を締結したと発表した。2025~26年をめどに、高出力EUV露光向け製品の導入を目指す。

 パートナーシップ契約は、CNT膜とペリクルを共同開発するもの。imecは三井化学での事業化に向けたコンサルテーションとEUV露光機での評価を担当する。

 ...  (つづく)