2023.12.19 米アプライドとウシオ電機がパートナーシップ締結、DLT装置を共同で市場投入 さらなるロードマップも展望

技術を紹介するアプライドの担当者

 米アプライドマテリアルズとウシオ電機は15日、東京都内で記者会見し、戦略的パートナーシップ締結やデジタルリソグラフィー(DLT)装置を共同で市場投入する計画の詳細を発表した。3DパッケージなどAI(人工知能)時代の先進的基板のパターニング向けに特別に設計されている装置。今後、さらなるロードマップも展望している。

 市場投入するDLTは「顧客の抱える先進的基板のロードマップ要件に正面から応える初のパターニング装置」と訴求。あらゆ...  (つづく)