2023.12.19 米アプライドとウシオ電機がパートナーシップ締結、DLT装置を共同で市場投入 さらなるロードマップも展望
技術を紹介するアプライドの担当者
米アプライドマテリアルズとウシオ電機は15日、東京都内で記者会見し、戦略的パートナーシップ締結やデジタルリソグラフィー（DLT）装置を共同で市場投入する計画の詳細を発表した。3DパッケージなどAI（人工知能）時代の先進的基板のパターニング向けに特別に設計されている装置。今後、さらなるロードマップも展望している。
市場投入するDLTは「顧客の抱える先進的基板のロードマップ要件に正面から応える初のパターニング装置」と訴求。あらゆ... (つづく)
