2023.12.29 レーザーテックが「VIANCA」シリーズを発表　小径ビアの深さ測定を実現

ビア深さ測定装置「VIANCAシリーズ」

　レーザーテックはこのほど、次世代プロセスで必要とされるアスペクトレシオ小径ビアのエッチング深さの高精度な測定を可能にしたビア深さ測定装置「VIANCAシリーズ」を発表した。

　生成AI（人工知能）の高度化とともに、高性能なGPUが必要とされている。AIの高速演算処理を実現するため、GPUに搭載される広帯域メモリー（HBM）にも高性能化と小型化が求められており、HBM製造時に用いられるTSV（シリコン貫通電極）技術の小経化と高ア...　　(つづく)