2024.01.11 【2024年注目の先端技術特集】湘南工科大渡辺名誉教授 複数入力可能な積層型GAAトランジスタによるNAND、NOR回路の提案 高速性能を維持しつつパターン面積40%に縮小
【図1】従来積層型の断面から見た回路図(a)、上面から見た平面パターン図(b)、および提案積層型の断面から見た回路図(c)、上面から見た平面パターン図(d)、提案積層型によるGAAの並列(e)、直列接続(f)
【図1】従来積層型の断面から見た回路図(a)、上面から見た平面パターン図(b)、および提案積層型の断面から見た回路図(c)、上面から見た平面パターン図(d)、提案積層型によるGAAの並列(e)、直列接続(f)
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