2024.04.08 【セミコンチャイナ　出展各社の取り組み】〈３〉 　シンフォニアテクノロジー、KOKUSAI ELECTRIC

シンフォニアテクノロジーのブース

新製品のロードポートを展示

　

シンフォニアテクノロジーは、ロードポートや基板自動搬送装置（EFEM）など各種クリーン搬送システムを展示した。グローバルで高いシェアを誇る技術力を訴求し、中国国内での認知度アップを図る。

　ロードポートは、半導体製造装置のフロント部に設置され、ウエハー格納用ポッド（FOUP、...　　(つづく)