2024.05.29 露光幅拡大で生産性向上　キヤノン、第6世代ガラス基板対応FPD露光装置の新製品

FPD露光装置「MPAsp-E1003H」

　キヤノンは6月上旬、中小型ディスプレーの製造に用いられる第6世代ガラス基板に対応したフラットパネルディスプレー（FPD）露光装置の新製品を発売する。新製品は露光幅の拡大、高い重ね合わせ精度、製造プロセスへの対応強化により生産性や品質の安定化を促す。近年の車載用ディスプレー需要の高まりに対応する。

　新製品「MPAsp-E1003H」は、スマートフォンを中心とした中小型ディスプレーの製造に用いられる第6世代ガラス基板（1500×...　　(つづく)