2024.05.31 日立ハイテクが走査電子顕微鏡の新製品 大型重量試料の観察に対応
走査電子顕微鏡「SU3900SE」
日立ハイテクは28日、大型で重量のある試料をナノレベルまで高精度・効率的に観察できる高分解能ショットキー走査電子顕微鏡「SU3900SE」「SU3800SE」シリーズを発売すると発表した。
SU3900SEは、従来機種比1.5倍の直径300ミリメートル、高さ130ミリメートル、同10倍の重量5キログラムの試料サイズまで観察対応可能とした。大型かつ重量のある試料の搭載と5軸（左右、前後、上下、傾斜、回転）可動を両立する。 (つづく)
