2024.05.31 半導体工場で最大5割省人化 自律走行ロボで点検 日立システムズとugoなど3社連携 ugoは高さ180センチメートルまで伸びる「ペリスコープ機構」で高所のメーターも読み取れる=5月31日、東京都板橋区 > ▶記事本文へ