2024.07.03 半導体プロセス材料メーカー、EUVに設備投資活発

EUVペリクル（三井化学）

生産能力増強など半導体産業発展へ貢献

　半導体プロセス材料メーカー各社による、次世代露光技術「

EUV」向けの設備投資が活発化している。今後の高い成...　　(つづく)