2024.07.03 半導体プロセス材料メーカー、EUVに設備投資活発

EUVペリクル(三井化学)

生産能力増強など半導体産業発展へ貢献

 半導体プロセス材料メーカー各社による、次世代露光技術「

EUV」向けの設備投資が活発化している。今後の高い成...  (つづく)