全長約40メートルの高精細エッチングライン
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OKIサーキットテクノが上越事業所にライン新設 超高多層PCBの回路形成に対応
半導体の大型テスト基板を開発 OKIサーキットテクノロジー、次世代検査装置用で量産開始
先端半導体、回路微細化の決め手「EUV」 東京応化や信越化学などが材料投資を加速
電子部品メーカー、国内研究開発体制拡充へ投資活発化
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