2024.08.21 600ミリ角型シリコン基板 次世代半導体パッケージ対応 三菱マテリアル開発 角型シリコン基板(510×515×0.8ミリメートル)の外観(右)と300ミリメートルウエハーのサイズ比較 > ▶記事本文へ