2024.09.06 東陽テクニカが新型FIB-SEM発売 チェコTESCAN社製
AMBER X 2
東陽テクニカは3日、新型Xe(キセノン)プラズマFIB-SEM(集束イオンビーム/走査電子顕微鏡)「AMBER X 2」を発売した。この製品はチェコのSEMメーカー大手のTESCAN社製。イオン源から引き出されたイオンビームを集束・走査して試料に照射するFIBカラムでは新型を搭載して、FIBの高電流性能を向上させ、スループットが向上。AI(人工知能)技術も搭載し、作業の効率化を促す。
FIB-SEMは高機能材料や電子デバイス... (つづく)