2024.10.21 大陽日酸がMOCVD／HVPE装置を米オハイオ州立大に納入

　日本酸素ホールディングスグループの大陽日酸は、米国のオハイオ州立大学にMOCVD装置およびHVPE装置（原料に有機金属やガスを用いながら基板上に半導体の成膜を行う装置）の納入が決まった。

　同大学は、ワイドバンドギャップ半導体分野で世界的に著名な研究機関。特に窒化ガリウムや酸化ガリウムなどの次世代パワーデバイス材料に関する研究で卓越した実績を誇る。同大学では、数多くの優秀な研究者が集まり、活発な研究が行われている。

...　　(つづく)