2024.12.02 日立ハイテクがDCRエッチング装置開発 微細化する半導体製造に貢献
DCRエッチング装置「9060シリーズ」のイメージ
日立ハイテクはDCRエッチング装置「9060シリーズ」を開発した。微細化や複雑化が進む先端半導体デバイス製造プロセスの進化に貢献する。
新製品で採用したDCRはドライ環境下での化学反応を利用し、縦横全方向にエッチングを進展させる方法。ドライ環境下で化学反応主体の等方性エッチングを行う場合、低温域でのラジカル（不対電子を持つ原子や分子）吸着と高温域での熱脱離を交互に行う必要があり時間がかかる。
同シリーズ... (つづく)
