2024.12.20 レーザーテックがEUVペリクル異物検査装置　異物の表裏自動分類を実現

EUVペリクル異物検査装置「PELMISシリーズ」

　レーザーテックは、EUVペリクル（マスクへ異物が付着するのを防ぐ保護膜）異物検査装置PELMISシリーズを製品化した。特長は、ペリクル付きEUVマスクのペリクル面の異物検査と付着する異物の表裏自動分類を実現した。ペリクル面に加え、マスクパターン面およびパターン外周部の異物検査にも対応しており、幅広い用途で使用できる。また、ダイ比較検査、マスクtoマスク比較検査も可能。

　ペリクル装着後のEUVペリクル付きマスク検査工程で、アク...　　(つづく)