2025.02.26 日本航空電子が「精密チルトステージ」の開発推進 極めて精密な角度補正が可能 4月以降量産化目指す
精密チルトステージを活用した角度補正デモの様子
「第39回インターネプコンジャパン」で初出品
日本航空電子工業は、超微細デジタル光学顕微鏡向けの位置決め用ステージとして、「精密チルトステージ」の開発を進めている。開発品は、チルト角度プラスマイナス0.1度、垂直変位プラスマイナス50マイクロメートルと極めて精密な角度補正が可能で、今年4月以降の量産開始を目指している。
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