2025.02.28 巻き取り式真空蒸着装置を開発　アルバックが5月販売開始

EWK-030

　アルバックは、巻き取り式真空蒸着装置「EWK-030」を開発した。同製品は真空環境下で金属箔（はく）上にリチウムを成膜する。蒸着により形成された薄膜リチウムは、真空下で処理されるため不純物の混入や酸化を抑制。大気環境下で形成されたリチウム箔よりも良好な膜表面を形成する。リチウムの材料使用効率を最大限に高める設計を施しており、一般的な蒸着装置に比べてコスト・環境面で優位性を持つ。

　同社は2022年、新エネルギー・産業技術総合開...　　(つづく)