2025.03.17 ヨコオが世界最小100μmピッチプローブ　半導体検査用で直径わずか0.08ミリメートル

100マイクロメートルピッチ半導体検査用プローブ

　ヨコオは、チューブ径がφ0.08ミリメートルの世界最小の「100マイクロメートルピッチ半導体検査用プローブ」を開発し、2月末から量産を開始したと発表した。今年5月末には顧客向けに供給を開始する予定。

　新製品は、半導体製造の前工程検査で使用するプローブで、大量のチップが印刷されたシリコンウエハーの電気検査に使用される。プローブは、上下のピン（プランジャー）とチューブ（バレル）、スプリングの四つの部品で構成されており、ピンを押す...　　(つづく)