2025.04.11 マクセルが水素ガス発生装置に小型タイプ追加　SEMI規格に準拠　EUの安全規格にも対応

水素ガス発生装置「HGU-36EN」

　マクセルは、水素ガス発生装置のラインアップに小型タイプ「HGU-36EN」を追加した。新製品は4月初旬に受注を開始。半導体製造の業界基準「SEMI規格」に準拠し、欧州連合（EU）の安全規格「CEマーク」を表示し、半導体洗浄用途での活用を見込む。

　HGU-36ENの仕様は、寸法が奥行き390×幅255×高さ380ミリメートル、質量が約19キログラムの小型タイプ。定格入力電圧（50／60ヘルツ）は単相交流100～240V、定格入...　　(つづく)