2025.05.15 金属-セラミックス複合材料、三菱マテリアルが開発 優れた高熱伝導性・低熱膨張性

新開発の金属-セラミックス複合材料の加工物の外観例(左から、円柱材の旋盤加工、板材の穴あけ加工)

 三菱マテリアルは、高熱伝導性・低熱膨張性を持ち、優れた加工性を有する金属-セラミックス複合材料を開発した。

 近年、xEV(電動車)などで使用される半導体の高出力化に伴い発熱量が増大。また半導体製造装置においても、より精密な温度コントロールが必要となっている。

 このため、半導体実装周辺部材や半導体製造装置用部品などには、従来に比べより高度な熱マネジメントが求められる。このようなニーズに応えるため、金属の高...  (つづく)