2025.06.03 荏原製作所の藤沢・新開発棟が完成　CMP開発を迅速化

新開発棟

　荏原製作所の藤沢事業所（神奈川県藤沢市）に新開発棟（V8棟）が完成し、2日に竣工（しゅんこう）式が開かれた。

　V8棟は地上4階、地下1階建て。建築面積は4355平方メートル、延べ床面積は1万6216平方メートル。主にCMP（化学機械研磨）装置をはじめとした半導体製造装置の開発に使用する。最先端の開発装置や検査装置、ユーティリティー環境を活用した次世代のプロセス開発が可能となる。

　竣工式後の会見で、細田修...　　(つづく)