2025.09.01 オーク製作所が先進パッケージ向けダイレクト露光装置開発 マスクレスで高解像・高精度露光実現
ダイレクト露光装置「SDi-1050h/2050i」
オーク製作所(東京都町田市)は、フォトマスクを使用せず半導体基板に回路パターンを焼き付ける高解像度・高精度なダイレクト露光装置を開発した。今年7月から受注を開始しており、2025年度内の出荷を目指す。
今回開発したのはダイレクト露光装置「SDⅰ-1050h/2050i」。先進パッケージなどの微細パターン露光で用いられ、1マイクロメートルの解像性能と優れた補正技術による高精度の位置合わせを実現する。
オー... (つづく)